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山东博华电子科技发展有限公司成立于2017年,位于淄博高新区MEMS产业创新园内,是由淄博高新区管委会、MEMS研究院共同成立的全资子公司,公司总投资约1.6亿元,其中已投入工艺设备约1亿元,厂房基础建设、土地约6000万元。厂房面积5000m2,分环境动力区、办公区、洁净区。洁净面积1540m2,百级区340m2、千级区400m2,万级区800m2,超净规模国内一流,省内。拥有德国SUSS公司光刻机、奥德利EVG公司键合机、英国SPTS公司深硅刻蚀机等国际一流6英寸半自动MEMS及微纳米代工线设备,生产能力达到月产传感器十万只以上,产品的测试环境也居国内水平。

淄博高新技术产业开发区MEMS研究院是由淄博高新区管委会与清华大学机械工程学院合作共建。公司于2017年12月成立,以“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、 “清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”为技术依托,集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才,专门从事微型传感器的研发和生产,是山东省一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的企业。

为了充分发挥山东博华电子科技发展有限公司的作用,聚集MEMS领域的研发机构和生产企业,管委会投资打造淄博高新区MEMS产业园。MEMS产业园位于中润大道和联通路之间,淄东铁路以东,工业路以西;该项目用地面积9.93公顷,总建筑面积151306㎡,项目总投资54720万元。园区重点引进国内外MEMS创业团队、产品公司、封装测试公司,致力打造涵盖微机电系统器件设计、中试代工、封装测试、规模量产的全产业链一流产业园区。

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