是泰安市2023年新招商项目，总投资15亿元，主要生产纯度6个9以上电子级硅烷、乙硅烷及一氯氢硅等产品，广泛应用于超大规模集成电路、平面显示器及新能源行业。其中一期计划投资8亿元，占地229.15亩，总建筑面积93000平方米，主要建设生产车间、控制室、仓库、罐区、充装站及其他公辅工程配套设施，购置各类生产及辅助设备200台套，采用三氯氢硅歧化法、硅烷直接合成法等工艺，建成后年产硅烷5000吨、乙硅烷50吨、二氯氢硅1000吨、一氯氢硅500吨、三氯硅烷10万吨。该项目科技含量高，是省重大科技创新工程项目，技术团队核心专家来自日韩等国际电子材料领军企业，乙硅烷属国内首次工艺，解决国内集成电路、半导体所需高端气体“卡脖子”问题，加快电子级硅烷气国产替代进程。绿色成分足，能耗仅为同行业的2/3。带动能力强，以该项目为依托，做强做大硅负极、气凝胶等新能源、新材料产业，力争5年内建成国内最具竞争力、具有国际影响力的氟硅新材料产业园。